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ICS 71.100.20 G 86 中华人民共和国国家标准 GB/T 33774—2017 丙烯 电子工业用气体 Gas for electronic industryPropylene 2017-12-01实施 2017-05-31发布 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T33774—2017 前言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出。 本标准起草单位:大连保税区科利德化工科技开发有限公司、广东华特气体股份有限公司、中国测 家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、东莞市联臣电子科技有限公司、西南化工研究设计院 有限公司。 本标准主要起草人:张琳、廖恒易、杜汉盛、方正、牛艳东、潘义、曲庆、方华、邹震、王鸿、周朋云。 GB/T33774—2017 电子工业用气体 丙烯 1范围 本标准规定了丙烯的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运及安全的内容。 本标准适用于以工业丙烯为原料,采用吸附、精馏方法提纯制备的电子工业用丙烯。它主要用于半 导体技术领域。 分子式:CH6。 相对分子质量:42.081(按2011年国际相对原子质量)。 2 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则 GB/T 5099 钢质无缝气瓶 GB/T 5100 钢制焊接气瓶 GB/T 5832.3 气体中微量水分的测定第3部分:光腔衰荡光谱法 GB/T 7144 气瓶颜色标志 GB/T 7716 聚合级丙烯 GB/T 14193 液化气体气瓶充装规定 GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB/T 16804 气瓶警示标签 GB/T26571 特种气体储存期规范 GB/T 28726 气体分析氨离子化气相色谱法 TSG R0006 气瓶安全技术监察规程 危险化学品安全管理条例 特种设备安全监察条例 SAG 3 3技术要求 丙烯的技术指标应符合表1要求。 表1技术指标 项目名称 指标 丙烯纯度(体积分数)/10-2 99.99 氮(N2)含量(体积分数)/10-6 5 氧(O)含量(体积分数)/10-6 1 1 GB/T 33774—2017 表1 (续) 项目名称 指标 (一氧化碳十二氧化碳)(CO+CO,)含量(体积分数)/10-6 2 丙烷(C:H。)含量(体积分数)/10-6 80 其他碳氢化合物含量(体积分数)/10-6 10 H20含量(体积分数)/10- 2 颗粒 供需双方商定 4试验方法 4.1 抽样、判定和复验 4.1.1 内烯产品应逐瓶检验。当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时,则判该产品不 合格。 SZAC 4.1.2丙烯采样安全应符合GB/T3723中的相关规定。 4.2 丙烯纯度 4.2.1 丙烯纯度按式(1)计算: =100—(+++++)10-4 ......(1) 式中: 丙烯纯度(体积分数),10-2; & 氮气含量(体积分数),10-; p2 氧气含量(体积分数),10-6; 氧化碳十二氧化碳含量(体积分数),10-"; 丙烷含量(体积分数),10-6; 其他碳氢化合物含量(体积分数),10-6; 水含量(体积分数),10-6。 4.3 3氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、丙烷、其他碳氢化合物含量的测定 按GB/T28726规定的切割进样的方法测定丙烯中的氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、丙烷、其他碳氢 化合物含量。 预分离柱:长约5m、内径约2mm的316L不锈钢管,内装粒径为0.18mm~~0.25mm的Porapak Q(一种高分子聚合物),或其他等效色谱柱。 色谱柱: 色谱柱:长约3m、内径2mm的不锈钢柱,内装粒径为0.18mm~0.25mm的5A分子筛,或其 他等效色谱柱。该柱用于分析氧、氮含量。 色谱柱Ⅱ:长约2m、内径约2mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的PorapakQ,或 其他等效色谱柱。该柱用于分析一氧化碳、二氧化碳含量。 色谱柱Ⅲ:长约50m、内径0.53mm、内涂15μm厚度的Al,O3毛细柱或其他等效色谱柱。该柱用 于分析丙烷及其他碳氢化合物含量。 标准样品:组分含量的体积分数为1×10-~5×10-6,或与样品气中的组分含量相近,平衡气 2
GB-T 33774-2017 电子工业用气体 丙烯
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