ICS81.040.10 CCS Q 37 中华人民共和国国家标准 GB/T32561.5—2022 红外光学硫系玻璃测试方法 第5部分：应力双折射 Measuring methods for chalcogenide infrared optical giass- Part5:Stress birefringence 2023-05-01实施 2022-10-12发布 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T32561.5—2022 前言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件是GB/T32561《红外光学硫系玻璃测试方法》的第5部分。GB/T32561已经发布了以下 部分： 第1部分：均匀性； 第2部分：条纹度； —第3部分：杂质； ——第4部分：光吸收系数； 一第5部分：应力双折射。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任 本文件由中国机械工业联合会提出。 本文件由全国光学和光子学标准化技术委员会（SAC/TC103）归口。 本文件起草单位：宁波大学、宁波阳光和谱光电科技有限公司、成都光明光电股份有限公司、湖北新 中国科学院西安光学精密机械研究所、中国兵器工业标准化研究所、有研国晶辉新材料有限公司、江苏 铁锚玻璃股份有限公司。 本文件主要起草人：戴世勋、张培晴、沈祥、宋宝安、林常规、王训四、于天来、胡向平、祖成奎、张龙、 郭海涛、杜梦影、朱懿、石红春、姜守进。 1 GB/T32561.5—2022 引言 红外光学硫系玻璃在热成像、红外传感、非线性器件、相变存储、光伏等领域具有广泛应用。其产品 在生产、销售和使用时，需要用标准化测量方法获得其性能参数。统一各种光学、电学参数的测量方法， 建立红外光学硫系玻璃生产、销售、使用的最佳秩序，保证测试结果的可比性以及可再现性，以促进相关 方的共同效益。GB/T32561《红外光学硫系玻璃测试方法》描述了红外光学硫系玻璃的各项性能参数 的测量方法，拟由5个部分构成： 第1部分：均匀性。目的在于规定红外光学硫系玻璃的内部均匀性的测试方法。 一第2部分：条纹度。目的在于规定红外光学硫系玻璃的内部条纹度的测试方法 第3部分：杂质。目的在于规定红外光学硫系玻璃的内部杂质的测试方法。 第4部分：光吸收系数。目的在于规定红外光学硫系玻璃的光吸收系数的测试方法。 第5部分：应力双折射。目的在于规定红外光学硫系玻璃的应力双折射的测试方法。 GB/T32561系列标准的5个部分分别对应了红外光学硫系玻璃在使用过程中的5个重要性能参 数的测试方法。本文件是GB/T32561的第5部分，针对的是红外硫系玻璃的应力双折射的测试方法 玻璃生产厂家在产品生产、销售时必须提供的关键技术指标。本文件是在前4部分（均匀性、条纹度、杂 质、光吸收系数等测试与表征）的基础上，针对硫系玻璃产品的内部应力进行定量测试并表征，以指导研 制、生产和使用部门对硫系玻璃产品的检验和验收，促进产品质量的稳定性和一致性。 GB/T32561.5—2022 红外光学硫系玻璃测试方法 第5部分：应力双折射 1范围 本文件描述了红外光学硫系玻璃应力双折射的测试原理、测试条件、仪器设备、样品、测试步骤和测 试数据处理等试验方法 本文件适用于红外光学硫系玻璃应力双折射的测试。 注：其他红外光学玻璃可参照使用。 2规范性引用文件 2 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于 本文件。 GB/T36265—2018红外光学玻璃 3 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 应力双折射 stressbirefringence 由于玻璃中存在应力，当一束偏振光垂直于玻璃表面人射后，沿着玻璃中两个主应力方向分解的振 动方向互相垂直的两束偏振光将具有不同的传播速度，即具有不同的折射率。 ［来源：GB/T7962.5—2010，3.1，有修改］ 注：红外光学硫系玻璃是一种各向同性材料。如果玻璃内有应力，就会呈现光学各向异性 3.2 光程差 opticalpathdifference 播速度不同，导致两束偏振光通过玻璃后的光程不相等，两束偏振光之间的光程之差。 ［来源：GB/T7962.5—2010，3.2，有修改］ 注：本文件中的光程差特指由应力双折射引起的两束光的光程差。 3.3 红外光学硫系玻璃 infrared chalcogenideglass 采用元素周期表中第VIA族的S、Se、Te三种元素与其他如Ge、Ga、As、Sb等金属元素组合形成 的一种红外玻璃 注：红外透过范围可超过20um 4原理 红外光学硫系玻璃中存在的应力将导致光学各向异性，则采用四分之一波片法测量，偏振光通过样 1 GB/T32561.5—2022 品后由于应力双折射导致光程差，测试原理如图1所示。设置起偏器和检偏器的通光方向正交，四分之 波片的光轴与起偏器通光方向一致，被测样品观测点的主应力方向与起偏器的通光方向成45°角 经过起偏器的线偏振光通过被测样品后形成椭圆偏振光，再经过四分之 一波片后变为线偏振光，但其偏 振面将发生旋转，旋转角度与样品的双折射光程差成正比，通过旋转检偏器测量其偏振面的旋转角 度，即可测量样品中的应力双折射光程差 11 标引序号说明： 1 红外光源； 2 功率计； 3 分束片； 4 扩束准直系统； 起偏器： 红外光学硫系玻璃样品； 四分之一波片； 8 检偏器； 9 红外成像物镜； 10- 红外探测器； 11- 一计算机数据采集、处理与显示系统。 图1应力双折射测量原理图 5测试条件 除另有规定，应在下列环境条件下进行试验： 温度：（22±2)℃； a) b） 相对湿度小于70%； c） 测试台隔振周期小于3Hz/s，隔振振幅小于0.15mm； 气流速度小于0.2m/s。 6 仪器设备 6.1组成 测试仪器和设备由红外光源系统、分束片、功率计、扩束准直镜、起偏器、检偏器、四分之一波片、红 外成像物镜和探测器组成，所需的测试装置见图1。 6.2红外光源系统 红外光源的辐射光谱应通过红外光学硫系玻璃透过光谱区域内。光源依据测试波段的不同分别选 择近红外波段1550nm激光光源，中红外波段3.39um氛激光光源，远红外波段10.6um二氧化碳 2 GB/T32561.5—2022 激光光源。测量时，采用与激光波长相对应的分束片和功率计监测光源的实时功率，光源输出功率的波 动应在土2.5%的区间内。 6.3扩束准直系统 光源系统所采用的扩束准直系统应选用与待测红外光学硫系玻璃样品具有类似宽度并能透过光谱 的红外材料。准直后的光束平行度应小于1°。可通过光源的控制电路进行光源出射功率调节。 6.4四分之一波片 光程差为测试所选用的光源峰值波长的四分之一，相位延迟精度小于入/300。 6.5起偏器、检偏器 透过率不低于80%，偏振度大于30dB，波前畸变小于入/4。起偏器和检偏器带有可旋转的刻度 盘，刻度盘的读数精度应小于0.5。 6.6探测器 根据测试波段的不同选择对应的红外探测器，红外成像和红外探测器阵列的选择与安装应保证通 过检偏器后产生的红外干涉图案是清晰成像。 6.7厚度测量仪 厚度测量精度应在土0.1mm区间内。 7样品 7.1待测玻璃样品应事先经过退火处理，并使用玻璃内部缺陷检测仪检测，玻璃内部条纹按照 GB/T36265一2018中5.4的条纹度等级A的规定，应无明显的条纹阴影存在。 7.2测试样品中部应力时，样品建议为矩形或圆形等规则形状。 7.3两个通光面应精密抛光，样品的表面粗糙度Ra应不大于0.05μm，两个通光面构成的楔角应小 于2° 7.4抛光后的红外光学硫系玻璃样品应存放在密闭干燥器内。 7.5 测试前样品在测试室内的恒温时间应不低于24h。 7.6 在测试室恒温的样品应分散放置，不应层叠放置。 8测试步骤 8.1测试准备 8.1.1按照图1所示原理图搭建四分之一波片法偏光应力双折射测试装置。 8.1.2选用量程和精度适宜的量具测量样品应力测量方向的通光厚度d。 8.1.3测量中部应力时，样品的最大尺寸的方向与通光观测方向一致，如图2所示 3 GB/T32561.5—2022 标引序号说明： 样品应力测量方向的通光厚度，单位为厘米（cm） 图2中部应力测试方向 8.1.4测量边缘应力时，按图3要求对被测样品的通光观测面做好测量标记，被测点应位于图中虚线 位置上。 u 11 0.05cl 2 0.05L 标引序号说明： D 圆形和正方形样品的样品宽度，单位为厘米（cm）； 长方形样品长边的样品宽度，单位为厘米（cm）； 长方形样品短边的样品宽度，单位为厘米（cm）； 测试点1； 测试点2； 3 测试点3； 测试点4。 图3边缘应力测试点 8.1.5调整起偏器和检偏器的方向，使其偏振轴正交，使探测器视场最暗。 8.1.6放入四分之一波片，并绕入射光轴旋转，使视场重新恢复最暗。 8.1.7放入待测样品，绕光轴旋转试样，看到样品被测点最暗后，继续旋转45°被测点重新变亮，则标 定此位置为零位状态点。 8.2 中部应力测试试验步骤 8.2.1在检测器处于零位状态时观察被测样品，如发现干涉暗带为两条，则干涉级次N=0。转动检偏 器，使两条干涉暗带向中部靠拢并重合，直到最暗。读取检偏器转动的角度α，并用公式（1）计算光程 差。 8.2.2在检偏器处于零位状态时观察被测样品，如发现有成对多条干涉暗带，记下