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书 书 书犐犆犛 31 . 200 犔 55 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A 犌犅 / 犜 35086 — 2018 犕犈犕犛 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B 犌犲狀犲狉犪犾狊狆犲犮犻犳犻犮犪狋犻狅狀犳狅狉犕犈犕犛犲犾犲犮狋狉犻犮犳犻犲犾犱狊犲狀狊狅狉 2018 05 14 /G2C /G2D 2018 12 01 /G2E /G2F /G27 /G28 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 /G21 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A /G33 /G2F /G30 /G34 /G35 /G36 /G2C /G2D 书 书 书/G21 /G22 /G21 /G22 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… 1 /G23 /G24 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2 /G25 /G23 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A 1 ………………………………………………………………………………………… 3 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F 1 ……………………………………………………………………………………………… 4 /G30 /G31 /G32 1 …………………………………………………………………………………………………… 5 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 2 ……………………………………………………………………………………………… 6 /G38 /G2B /G39 /G3A 2 ………………………………………………………………………………………………… 7 /G3B /G3C /G3D /G3E /G2D /G3F /G40 4 ………………………………………………………………………………………… 8 /G41 /G3C /G25 /G42 10 ………………………………………………………………………………………………… 9 /G43 /G44 、 /G45 /G46 、 /G47 /G48 /G2D /G49 /G4A 12 ………………………………………………………………………………… Ⅰ 犌犅 / 犜 35086 — 2018 /G23 /G24 /G4B /G43 /G4C /G4D /G4E GB / T1.1 — 2009 /G4F /G50 /G51 /G25 /G42 /G52 /G53 。 /G4B /G43 /G4C /G54 /G55 /G56 /G57 /G58 /G59 /G38 /G2B /G43 /G4C /G5A /G38 /G2B /G5B /G5C /G5D ( SAC / TC336 ) /G5E /G50 /G5F /G60 /G61 。 /G4B /G43 /G4C /G52 /G53 /G62 /G63 : /G64 /G56 /G65 /G66 /G67 /G59 /G68 /G66 /G69 /G6A /G6B 、 /G64 /G58 /G6C /G6D /G6E /G6F /G70 /G64 /G71 、 /G72 /G73 /G72 /G74 /G57 /G59 /G68 /G75 /G76 /G77 /G78 /G79 /G7A 。 /G4B /G43 /G4C /G7B /G39 /G52 /G53 /G7C : /G7D /G7E /G7F 、 /G80 /G81 /G82 、 /G83 /G84 /G85 、 /G86 /G87 /G88 、 /G89 /G7F /G8A 、 /G8B /G8C 、 /G8D /G8E 。 Ⅲ 犌犅 / 犜 35086 — 2018 犕犈犕犛 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F 1 /G30 /G31 /G4B /G43 /G4C /G25 /G2E /G8F MEMS /G59 /G90 /G33 /G34 /G35 ( /G91 /G92 /G93 /G94 “ /G33 /G34 /G35 ”) /G51 /G30 /G31 /G32 、 /G95 /G96 /G36 /G37 、 /G38 /G2B /G39 /G3A 、 /G3B /G3C /G3D /G3E /G2D /G3F /G40 、 /G41 /G3C /G25 /G42 、 /G45 /G46 、 /G48 /G47 /G2D /G49 /G4A 。 /G4B /G43 /G4C /G97 /G28 /G98 MEMS /G59 /G90 /G33 /G34 /G35 /G51 /G69 /G99 、 /G6C /G6D /G2D /G9A /G9B 。 /G9C /G9D /G9E /G9F /G51 /G59 /G90 /G33 /G34 /G35 /GA0 /GA1 /G4E /GA2 /G28 。 2 /G32 /G30 /G33 /G34 /G2B /G35 /G2F /G92 /GA3 /G29 /G2A /GA4 /G98 /G4B /G29 /G2A /G51 /GA5 /G28 /GA6 /GA7 /GA8 /GA0 /GA9 /G51 。 /GAA /GA6 /GAB /GAC /GAD /G51 /G27 /G28 /G29 /G2A , /GAE /GAB /GAC /GAD /G51 /GAF /G4B /G97 /G28 /G98 /G4B /G29 /G2A 。 /GAA /GA6 /GA8 /GAB /GAC /GAD /G51 /G27 /G28 /G29 /G2A , /G9C /GB0 /GB1 /GAF /G4B ( /G45 /GB2 /G6B /G75 /G51 /GB3 /GB4 /G62 ) /G97 /G28 /G98 /G4B /G29 /G2A 。 GB / T191 /G45 /G46 /G47 /G49 /GB5 /GB6 /G43 /G44 GB / T2423.1 — 2008 /G59 /GB7 /G59 /G68 /G6D /GB8 /GB9 /GBA /G3B /G3C /GBB 2 /GBC /GBD : /G3B /G3C /G3F /G40 /G3B /G3C A : /GBE /GBF GB / T2423.2 — 2008 /G59 /GB7 /G59 /G68 /G6D /GB8 /GB9 /GBA /G3B /G3C /GBB 2 /GBC /GBD : /G3B /G3C /G3F /G40 /G3B /G3C B : /GC0 /GBF GB / T2423.4 /G59 /GB7 /G59 /G68 /G6D /GB8 /GB9 /GBA /G3B /G3C /GBB 2 /GBC /GBD : /G3B /G3C /G3F /G40 /G3B /G3C Db /GC1 /GC2 /GC3 /GC4 ( 12h+12h /GC5 /GB9 ) GB / T2423.5 /G59 /GB7 /G59 /G68 /G6D /GB8 /GB9 /GBA /G3B /G3C /GBB 2 /GBC /GBD : /G3B /G3C /G3F /G40 /G3B /G3C Ea /G2D /GC6 /G42 : /GC7 /GC8 GB / T2423.10 /G59 /GB7 /G59 /G68 /G6D /GB8 /GB9 /GBA /G3B /G3C /GBB 2 /GBC /GBD : /G3B /G3C /G3F /G40 /G3B /G3C Fc : /GC9 /GCA ( /GCB /GCC ) GB / T2423.16 /G59 /GB7 /G59 /G68 /G6D /GB8 /GB9 /GBA /G3B /G3C /GBB 2 /GBC /GBD : /G3B /G3C /G3F /G40 /G3B /G3C J /GCD /GC6 /G42 : /GCE /GCF GB / T2423.17 /G59 /GB7 /G59 /G68 /G6D /GB8 /GB9 /GBA /G3B /G3C /GBB 2 /GBC /GBD : /G3B /G3C /G3F /G40 /G3B /G3C Ka : /GD0 /GD1 GB / T2423.21 /G59 /GB7 /G59 /G68 /G6D /GB8 /GB9 /GBA /G3B /G3C /GBB 2 /GBC /GBD : /G3B /G3C /G3F /G40 /G3B /G3C M : /GBE /GD2 /GD3 GB / T2423.22 — 2012 /GB9 /GBA /G3B /G3C /GBB 2 /GBC /GBD : /G3B /G3C /G3F /G40 /G3B /G3C N : /GBF /GD4 /GC2 /G5A GB / T2828.1 /GD5 /GD6 /GD7 /GD8 /G41
GB-T 35086-2018 MEMS电场传感器通用技术条件
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