ICS31-030 L90 中华人民共和国国家标准 GB/T11446.9—2013 代替GB/T11446.9—1997 电 子级水中微粒的仪器测试方法 Testmethodforparticlesinelectronicgradewaterbyinstrument 2013-12-31发布 2014-08-15实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布 前 言 GB/T11446预计结构如下: ———GB/T11446.1 电子级水; ———GB/T11446.2 (待定); ———GB/T11446.3 电子级水测试方法通则; ———GB/T11446.4 电子级水电阻率的测试方法; ———GB/T11446.5 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法; ———GB/T11446.6 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法; ———GB/T11446.7 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法; ———GB/T11446.8 电子级水中总有机碳的测试方法; ———GB/T11446.9 电子级水中微粒的仪器测试方法; ———GB/T11446.10 电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法。 本部分为GB/T11446的第9部分。 本部分按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本部分代替GB/T11446.9—1997《电子级水中微粒的仪器测试方法》。 本部分与GB/T11446.9—1997相比,主要有下列变化: ———重新对“3.1微粒”进行了定义(见第3章); ———增加了“5干扰因素”(见第5章); ———删除了“11注意事项”(见1997年版的第11章); ———修订了Pi的定义。 本部分由中华人民共和国工业和信息化部提出。 本部分由中国电子技术标准化研究院归口。 本部分起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所、中国电子技 术标准化研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所。 本部分主要起草人:王奕、褚连青、何秀坤、段曙光、提刘旺、刘筠。 本部分所代替标准的历次版本发布情况为: ———GB/T11446.9—1989、GB/T11446.9—1997。 ⅠGB/T11446.9—2013