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ICS 31.260 CCS L 97 中华人民共和国国家标准 GB/T44631—2024 晶片承载器传输并行接口要求 Requirements for wafer carrier handoff parallel I/O interface 2024-09-29发布 2025-04-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 SAG GB/T44631—2024 目 次 前言 1 范围 规范性引用文件 术语和定义 4 缩略语 5 并行接口信号 5.1传送并行接口信号定义 5.2 装载端口信号配置 6信号传送要求 6.1 传送时序 6.2 单一传送顺序(装载/卸载) 6.3 同步传送顺序(装载)…… 19 6.4 连续传送顺序 7异常处理 23 7.1 异常类型…· 23 7.2 异常检测 23 7.3 异常恢复· 24 8 连接器类型、信号、管脚要求· 8.1 连接器类型 25 8.2 信号电参数 8.3 状态位分配 26 8.4 引脚分配 27 8.5 信号隔离 30 9 传感器要求·
GB-T 44631-2024 晶片承载器传输并行接口要求
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