ICS 31.260 GB CCSL97 中华人民共和国国家标准 GB/T 44375—2024 300mm半导体设备装载端口要求 Requirements for load ports of 3o0 mm semiconductor equipment 2024-08-23 发布 2025-03-01实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会 GB/T44375—2024 目次前言 II 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 4 要求 4.1 接口尺寸要求 4.2 装载端口配置选项 4.3 装载端口排序规则 4.4 晶圆承载器装载/卸载尺寸要求 4.5 感应地面搬运系统的光电传感器安装位置尺寸要求 4.6 ID读取器专属空间尺寸要求 4.7 晶圆承载器取放机构专属空间尺寸要求

GB-T 44375-2024 300mm半导体设备装载端口要求

文档预览

中文文档 15 页 50 下载 1000 浏览 0 评论 309 收藏 3.0分

赞助2元下载(无需注册)

温馨提示：本文档共15页，可预览 3 页，如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档

下载文档到电脑，方便使用

赞助2元下载

本文档由人生无常于 2024-10-13 13:00:46上传分享

下载原文档(15.8 MB)

友情链接

交流群

-->