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ICS13.040.35 CCSC70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.3—2024/ISO14644-3:2019 代替GB/T25915.3—2010 洁净室及相关受控环境 第3部分:检测方法 Cleanrooms and associated controlled environments- Part 3:Test methods (ISO14644-3:2019.IDT) 2024-03-15发布 2024-10-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T25915.3—2024/ISO14644-3:2019 目 次 前言 引言 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 3.1 一般术语 3.2 与空气悬浮粒子有关的术语 3.3 与空气过滤器和过滤系统有关的术语 3.4 与气流和其他物理状态有关的术语 3.5 与静电测量有关的术语 3.6 与测量器具和测量条件有关的术语 3.7 与占用状态有关的术语 检测规程 4.1 洁净室检测 4.2 原理 5检测报告 附录A(资料性) 支持性检测和清单的选择 附录B(资料性) 支持性检测方法 附录C(资料性) 检测仪器 35 参考文献 43
GB-T 25915.3-2024 洁净室及相关受控环境 第3部分:检测方法
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