说明:收录25万 73个行业的国家标准 支持批量下载
文库搜索
切换导航
文件分类
频道
联系我们
问题反馈
文件分类
联系我们
问题反馈
批量下载
ICS _31. 200 L 90 中华人民共和国国家标准 GB/T16523—1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范 Specification for round quartz photomask substrates 1996-09-09发布 1997-05-01实施 国家技术监督局 发布 GB/T16523-—1996 前 言 本标准等效采用SEMI标准的SEMIP4一92《圆形石英玻璃光掩模基板规范》 本标准第3章要求全部按SEMIP4一92制定,标准格式按GB/T1.1—1993《标准化工作导则标准 编写的基本规定》编制。 SEMI标准是半导体设备和材料国际标准,具有较高的科学性和先进性,内容全面,标准配套。本标 准与已经转化为我国标准的SEMIP1—92《硬面光掩模基板》(GB/T15871—1995)、SEMIP2—86《硬 面光掩模用铬薄膜》(GB/T15870—1995)、SEMIP3—90《硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规 范》(GB/T16527—1996)、SEMIP6—88《光掩模对准标记规范》(GB/T16524—1996)及准备转化为我 国标准的SEMIP2192《掩模光系统准确度表示准则》、SEMIP22—93《光掩模缺陷分类和尺寸定义 的指南》、SEMIP19一92《用于集成电路制造技术的检测图形单元规范》等项标准形成一个微型构图标 准系列。 本标准附录A是提示的附录。 本标准由中华人民共和国电子工业部提出。 本标准由电子工业部标准化研究所归口。 本标准起草单位:长沙韶光微电子总公司,电子工业部标准化研究所。 本标准主要起草人:谈仁良、吴保华、王亦林、韩艳芬。
GB-T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范
文档预览
中文文档
10 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
309 收藏
3.0分
赞助2元下载(无需注册)
温馨提示:本文档共10页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
下载文档到电脑,方便使用
赞助2元下载
本文档由 人生无常 于
2024-06-26 14:05:15
上传分享
举报
下载
原文档
(10.6 MB)
分享
友情链接
GB-T 41652-2022 刻蚀机用硅电极及硅环.pdf
GB-T 41626-2022 动物腧穴名称与定位 马属动物.pdf
上海市公共数据共享实施办法(试行)3.2发布.pdf
数据安全实践指南 读书笔记.pdf
全国计算机技术与软件专业技术资格 水平 考试 2023年材料.pdf
GB-T 39559.1-2020 城市轨道交通设施运营监测技术规范 第1部分:总则.pdf
DB13-T 5372-2021 社会工作服务项目监测与 评估规范 河北省.pdf
T-CHEAA 0018—2021 家用和类似用途洗地机.pdf
DL-T 2021-2019 抽水蓄能机组设备监造导则.pdf
T-SZSA 015—2017 COB LED 光源封装产品技术规范.pdf
DB51-T 2738-2020 大熊猫圈养机构宣传教育标准 四川省.pdf
GB-T 26145-2010 排污阀.pdf
GB-T 25122.5-2018 轨道交通 机车车辆用电力变流器 第5部分:城轨车辆牵引变流器.pdf
NIST 零信任架构 中文版.pdf
DB37-T 1933—2022 氯碱安全生产技术规范 山东省.pdf
T-CSRME 02—2019 海上风电工程基桩检测技术规程.pdf
GB-T 14463-2022 粘胶短纤维.pdf
T-XJNFCP 001—2023 预制菜.pdf
GB-T 20258.4-2019 基础地理信息要素数据字典 第4部分:1∶250 000 1∶500 000 1∶1 000 000 比例尺.pdf
GB-T 42453-2023 信息安全技术 网络安全态势感知通用技术要求.pdf
交流群
-->
1
/
3
10
评价文档
赞助2元 点击下载(10.6 MB)
回到顶部
×
微信扫码支付
2
元 自动下载
官方客服微信:siduwenku
支付 完成后 如未跳转 点击这里 下载
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们
微信(点击查看客服)
,我们将及时删除相关资源。