说明:收录25万 73个行业的国家标准 支持批量下载
文库搜索
切换导航
文件分类
频道
联系我们
问题反馈
文件分类
联系我们
问题反馈
批量下载
ICS _31. 200 L 90 中华人民共和国国家标准 GB/T16523—1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范 Specification for round quartz photomask substrates 1996-09-09发布 1997-05-01实施 国家技术监督局 发布 GB/T16523-—1996 前 言 本标准等效采用SEMI标准的SEMIP4一92《圆形石英玻璃光掩模基板规范》 本标准第3章要求全部按SEMIP4一92制定,标准格式按GB/T1.1—1993《标准化工作导则标准 编写的基本规定》编制。 SEMI标准是半导体设备和材料国际标准,具有较高的科学性和先进性,内容全面,标准配套。本标 准与已经转化为我国标准的SEMIP1—92《硬面光掩模基板》(GB/T15871—1995)、SEMIP2—86《硬 面光掩模用铬薄膜》(GB/T15870—1995)、SEMIP3—90《硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规 范》(GB/T16527—1996)、SEMIP6—88《光掩模对准标记规范》(GB/T16524—1996)及准备转化为我 国标准的SEMIP2192《掩模光系统准确度表示准则》、SEMIP22—93《光掩模缺陷分类和尺寸定义 的指南》、SEMIP19一92《用于集成电路制造技术的检测图形单元规范》等项标准形成一个微型构图标 准系列。 本标准附录A是提示的附录。 本标准由中华人民共和国电子工业部提出。 本标准由电子工业部标准化研究所归口。 本标准起草单位:长沙韶光微电子总公司,电子工业部标准化研究所。 本标准主要起草人:谈仁良、吴保华、王亦林、韩艳芬。
GB-T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范
文档预览
中文文档
10 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
309 收藏
3.0分
赞助2元下载(无需注册)
温馨提示:本文档共10页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
下载文档到电脑,方便使用
赞助2元下载
本文档由 人生无常 于
2024-06-26 14:05:15
上传分享
举报
下载
原文档
(10.6 MB)
分享
友情链接
T-CTSS 3—2019 茶艺职业技能竞赛技术规程.pdf
GB-T 21837-2023 铁磁性钢丝绳电磁检测方法.pdf
T-SAASS 127—2023 单粒精播花生种子生产与加工技术规程.pdf
T-CNHAW 0011—2024 干眼诊疗中心分级建设要求.pdf
OWASP 软件保证成熟度模型 v1.0 中文版 SAMM-1.0-cn.pdf
GB 26783-2011 消防救生照明线.pdf
GB-T 14812-2008 热管传热性能试验方法.pdf
GB-T 35651-2017 突发事件应急标绘图层规范.pdf
法律法规 武汉市建筑节能与新型墙体材料应用管理条例2022-06-23.pdf
GB 15084-2013 机动车辆 间接视野装置 性能和安装要求.pdf
腾讯研究院AIGC发展趋势报告2023.pdf
GB-T 40060-2021 液氢贮存和运输技术要求.pdf
GB-T 42467.8-2023 中医临床名词术语 第8部分:眼科学.pdf
GB-T 27804-2011 氟化钙.pdf
GB-T 26249-2010 电子工业用气体 硒化氢.pdf
GB-T 41800-2022 信息技术 传感器网络 爆炸危险化学品贮存安全监测系统技术要求.pdf
GB-T 24720-2009 交通锥.pdf
DB32-T 4553-2023 医疗机构医疗器械不良事件监测工作指南 江苏省.pdf
DB13-T 5022-2019 冶金企业气体防护站安全管理规范 河北省.pdf
德勤数字化转型新篇章.pdf
交流群
-->
1
/
3
10
评价文档
赞助2元 点击下载(10.6 MB)
回到顶部
×
微信扫码支付
2
元 自动下载
官方客服微信:siduwenku
支付 完成后 如未跳转 点击这里 下载
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们
微信(点击查看客服)
,我们将及时删除相关资源。