ICS 71.040.40 G 04 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T28632—2012/ISO18516:2006 表面化学分析俄歇电子能谱和 X射线光电子能谱横向分辨率测定 Surface chemical analysis-Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopyDetermination of lateral resolution （ISO18516:2006,IDT) 2012-07-31发布 2013-02-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化管理委员会 GB/T28632—2012/ISO18516:2006 目次前言范围 2 规范性引用文件 3 术语、定义、符号和缩略语一般信息 5 直边法测量横向分辨率 6 栅格法测量横向分辨率金岛法测量横向分辨率 10 附录A（资料性附录）带聚焦X射线束斑的XPS仪器横向分辨率测定 14 附录B（资料性附录）二次电子线扫描谱横向分辨率测定 16 附录C（资料性附录）俄歇电子线扫描谱横向分辨率测定 17 参考文献 19

GB-T 28632-2012 表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率测定

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