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ICS31.200 CCSL56 中华人民共和国国家标准 GB/T20870.10—2023/IEC60747-16-102004 半导体器件第16-10部分: 单片微波集成电路技术可接收程序 Semiconductor devices—Part 16-10:Technology Approval Schedule for monolithic microwave integrated circuits (IEC60747-16-10:2004,IDT) 2023-09-07发布 2024-01-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T20870.10—2023/IEC60747-16-10:2004 目 次 前言 引言 范围 规范性引用文件 术语、定义和缩略语 3.1 单位、符号和术语 3.2 标准值和优选值 3.3 术语和定义 3.4 缩略语 3.5 关于技术可接收程序范围的定义 器件技术的定义 4.1 器件技术的范围 4.2 活动说明及流程图 4.3 技术摘要 4.4 分包商控制要求 5 MMIC的器件设计 5.1 MMIC的器件设计范围 5.2 活动说明及流程图 5.3 接口: 5.4 过程的确认与控制 掩模制造 6.1 掩模制造的范围 6.2 活动说明及流程图· 6.3 工艺的确认和控制· 6.4 分包商、供应商和内部供方 MMIC的晶圆制造 7.1 MMIC的晶圆制造范围 13 7.2 活动说明和流程图 7.3 设备 7.4 7.5 返工 7.6 工艺的确认方法和控制 7.7 相互关系
GB-T 20870.10-2023 半导体器件 第16-10部分:单片微波集成电路技术可接收程序
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