ICS 29.045 H 83 中华人民共和国国家标准 GB/T 36706—2018 磷化铟多晶 Polycrystalline indiumphosphide 2019-06-01实施 2018-09-17发布 国家市场监督管理总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T36706—2018 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分会（SAC/TC203/SC2）共同提出并归口。 本标准起草单位：南京金美业有限公司、有色金属技术经济研究院、中国电子科技集团公司第十 三研究所、广东先导稀材股份有限公司、石家庄麦特达电子科技有限公司、中国科学院半导体研究所、云 南中科鑫圆晶体材料有限公司。 本标准主要起草人：范家骅、邢志国、杨桂芳、刘文兵、李素青、王阳、李晓岚、孙聂枫、刘惠生、 赵有文、惠峰、朱刘、刘永豪。 1 GB/T36706—2018 磷化铟多晶 1范围 本标准规定了磷化钢多晶的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货 单（或合同）内容。 本标准适用于生产磷化钢单晶用的磷化钢多晶。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T1423贵金属及其合金密度的测试方法 GB/T4326非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法 GB/T14844 半导体材料牌号表示方法 3要求 3.1牌号 磷化钢多晶的牌号表示应符合GB/T14844的规定。 3.2电学性能 磷化钢多晶的电学性能应符合表1的规定。 表1电学性能 要求 项目 A级 B级 C级 D级 E级 载流子迁移率 ≥4.500 ≥3500 ≥3000 ≥2500 ≥2500 cm/(V . s) 载流子浓度 ≤3×1015 ≤6×1015 ≤8×1015 ≤1×1016 ≤3X1016 atoms/cm3 3.3密度 磷化钢多晶的理论密度为4.787g/cm，实测密度与理论密度的偏差应在土5%以内，即实测密度应 为4.548g/cm²~5.026g/cm²。 3.4外观质量 磷化钢多晶为灰色固体，表面致密、无孔洞、无富钢、无富磷 1 GB/T36706—2018 3.5其他 需方如对磷化钢多晶有特殊要求时，由供需双方协商确定 4试验方法 4.1磷化钢多晶载流子迁移率和载流子浓度的测试按GB/T4326的规定进行。 4.2 2磷化钢多晶密度的测定按GB/T1423的规定进行。 4.3 磷化钢多晶的外观质量检验用目视检查。 检验规则 5.1检查和验收 5.1.1产品应由供方技术监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准和订货单（或合同）的规定，并 填写产品质量证明书。 5.1.2需方应对收到的产品进行检验，若检验结果与本标准或订货单（或合同）的规定不符时，应在收 到产品之日起3个月内向供方提出，由供需双方协商解决， 5.2组批 产品应成批提交检验，每批应由同一牌号、同一等级，并可追溯生产条件的磷化钢多晶组成 5.3 3检验项目及取样 磷化多晶的检验项目及取样应符合表2的规定。 表2检验项目及取样 检验项目 取样 电学性能 在每锭磷化钢多晶的凝固初始端和结束端各切一片 密度 逐锭检验 外观质量 逐锭检验 5.4检验结果的判定 5.4.1电学性能的检验结果中有任意一项不合格时，允许对该晶锭加倍数量取样，对不合格的项目进 行重复检验。若重复检验结果仍有不合格，则判该锭产品为不合格。 5.4.2密度的检验结果不合格时，则判该锭产品为不合格。 5.4.3外观质量的检验结果不合格时，则判该锭产品为不合格。 6标志、包装、运输、贮存和质量证明书 6.1标志 6.1.1产品内包装上应贴有标签，其上标明： a）产品名称和牌号； 2 GB/T36706—2018 批号； c) 净重； 生产日期。 d) 6.1.2 产品外包装上应贴有标签，其上标明： a) 供方名称； b) 产品名称和牌号； c) 批号； d) 毛重、净重； e) 出厂日期； f) “防潮”“禁止倒置”“轻放”等标识。 6.2 包装 磷化钢多晶装人洁净的塑料袋内后，放人有凹槽的泡沫内，再置人内衬大塑料袋的纸箱内。 6.3 运输和贮存 磷化钢多晶在运输、贮存过程中应轻装轻卸，不得倒置和碰撞，防止破损、受潮。 6.4 质量证明书 每批产品应附有质量证明书，其上注明： a) 供方名称； b) 产品名称和牌号； c) 批号； d) 净重和件数； e) 分析检验结果和技术监督部门印记； f) 本标准编号： 出厂日期(或包装日期)。 g) 订货单（或合同）内容 订购本标准所列产品的订货单（合同）应包括下列内容： 产品名称； a） 牌号； b) c) 规格； d) 重量； e) 本标准编号。