ICS 31.030 L 90 中华人民共和国国家标准 GB/T 4314—2017 代替GB/T4314—2000 吸气剂术语 Getter terms 2018-07-01实施 2017-12-29 发布 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 4314—2017 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准代替GB/T4314—2000《吸气剂术语》，与GB/T4314—2000相比主要技术变化如下 对耐高温吸气剂、高牢固度吸气剂、终端吸气速率、比吸着容量、放气量、总放气量、预处理放气 量、释汞率、释汞吸气剂热稳定性等术语的名称、定义重新进行了解释； 一增加了组合吸气剂（3.40）、低温汞齐（3.41）、初始吸气速率（4.16）、游离汞（4.66）术语。 本标准由中华人民共和国工业和信息化部提出。 本标准由中国电子技术标准化研究院归口。 本标准起草单位：南京华东赛斯真空材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、中国电子科技集 团公司第十二研究所。 本标准主要起草人：薛函迎、高陇桥、郭卫斌、张巨先， 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： GB/T43141984,GB/T43142000。 GB/T 4314—2017 吸气剂术语 1范围 本标准界定了吸气剂一般术语、分类术语及特性术语 本标准适用于真空器件用吸气剂。 2 一般术语和定义 2.1 气体量gasquantity Q 处于统计平衡态的理想气体所具有的动能量度，其值等于气体所占有的体积与其压强的乘积。 2.2 吸附相分子 adsorbedgasmolecule 已吸附在固体表面上的气体分子。 2.3 气相分子gas molecule in space 对应于吸附相分子而言，处于气体与固体交界面的气体一侧的气体分子。 2.4 气流量 throughput Q: 单位时间内通过某截面的气体量。单位为帕[斯卡］立方米每秒（Pa·m/s）。 2.5 漏放率leak-uprate 系统内部因漏气或放气引起的单位时间内气体量的增量。单位为帕斯卡立方米每秒（Pa·m/s）。 2.6 吸附 fadsorption 吸气剂或吸气剂膜表面对气体或蒸汽的捕集现象。 注：也可以更明确地说成"表面吸附”。 2.7 吸收 absorption 气体或蒸汽扩散进人到吸气剂或吸气剂膜内部的现象。 2.8 吸气sorption 由于吸附和吸收现象所造成的对气体和蒸汽的清除过程。 2.9 脱附desorption 吸着气体的释放现象。 1 GB/T 4314—2017 2.10 脱附速率desorptionrate 在一定压强和温度下，单位时间内固体表面脱附的气体体积数。单位为立方米每秒（m/s）。 注：也称为放气或除气速率（outgassingordegassingrate）。 2.11 放气outgassing 真空状态下，材料中气体的自发脱附现象。 2.12 除气degassing 促使材料中气体脱附的工艺。 2.13 表面扩散 surface diffusion 吸附相分子沿吸气剂表面的扩散。 2.14 表面扩散活化能 active energy of surface diffusion 单位摩尔气体分子(或原子)由吸附剂表面的一个活性点转移到另一个活性点时所需的最小能量。 单位为焦每摩尔（J/mol）。 2.15 文bulk diffusion 体扩散 气体在吸气剂体内的扩散。 2.16 体扩散活化能activeenergyofbulkdiffusion 单位摩尔气体分子（原子）进行体扩散时所需的最小能量。单位为焦每摩尔（J/mol） 3分类术语和定义 3.1 吸气剂getter 在一定条件下，能有效地吸着某些（某种）气体或蒸汽，以获得、维持真空以及纯化气体或可以精确 释放特定物质的材料、制剂或元件。 3.2 吸气材料 + gettering material 在一定条件下，对某些（某种）气体具有特殊活性的材料，根据材料的组分，也称为“吸气金属”“吸 气合金等”。 3.3 吸气剂膜 getterfilm 吸气剂中的吸气材料经蒸散后，在沉积面上形成的薄膜。 3.4 单质型吸气剂 elementarygetter 由单一元素材料制成的吸气剂。 3.5 合金型吸气剂 alloygetter 由合金材料制成的吸气剂。 2 GB/T 4314—2017 3.6 蒸散型吸气剂flashgetter 需采用蒸散工艺，靠吸气材料在蒸散过程中和沉积成膜后才能具有吸气作用的吸气剂 3.7 反应型吸气剂 reactive getter 蒸散时兼有化学反应的吸气剂。 3.8 吸热型吸气剂 endothermicgetter 蒸散时呈吸热反应的吸气剂。 3.9 放热型吸气剂 exothermic getter 蒸散时呈放热反应的吸气剂。 3.10 非蒸散型吸气剂 Jnonevaporable getter 不需蒸散，在一定条件下激活后，即有吸气作用的吸气剂。 3.11 体吸气剂bulkgetter 表面与实体都能参与吸气，其吸气特性与体扩散速率关系甚密的吸气剂 3.12 低温吸气剂 getterforlowtemperatures 经激活后，在常温下具备良好吸气能力的吸气剂。 3.13 高温吸气剂 Jgetterforhightemperatures 经激活后在200℃以上才能具备良好吸气性能的吸气剂。 3.14 低温激活型吸气剂getterforlowtemperaturesactivation 在500℃以下可以有效激活的吸气剂。 3.15 高温激活型吸气剂 Jgetter for high temperatures activation 在800℃以上可以有效激活的吸气剂。 3.16 高牢固度吸气剂 Jgetter for highfirmness 在高强度振动条件下，没有超过微米级微粒脱落的吸气剂。 3.17 热子型吸气剂 thermistor getter 以热子加热方式进行激活的吸气剂。 3.18 吸气剂载体 getter carrier 装载吸气剂载料的器具。其形状有：带、槽环、碟、管等；相应称呼为：吸气剂带、吸气剂环、吸气剂 碟、吸气剂管等。 注：也称为吸气剂容器（gettercontainer） 3